關 于

彌費物料(Pod、Cassette、FOUP、Reticle……)智能存儲系統可識別RFID、Smart Tag、Barcode等各種物料ID,可靈活根據工廠需要客制化不同尺寸,使其更符合工廠現實需要。標準化的符合半導體通訊(SEMI E88, Stocker SEM)的軟件控制接口能讓彌費存儲設備快速實施通訊交互,無論是彌費自身的物料調度系統還是客戶的物料控制系統或者制造執行系統。無論是小區域存儲、跨樓層存儲、與生產設備整合的暫存或空中存儲,彌費都有相應的產品與之對接,所有這些產品都符合SEMI S2的標準。彌費存儲設備能很好地和傳送設備相互協作,完成物料的轉移。客戶隨時可以通過上層系統或彌費物料調度系統查看產品現在的存儲位置及歷史記錄。彌費的存儲產品都可改裝成帶有凈化功能的存儲設備來幫助客戶實現產品工藝需求。

彌費存儲設備已應用于半導體8吋和12吋工廠制造生產,幫助工廠管理,記錄物料的存儲位置和歷史記錄。

應 用

規 格

產品

 存儲物料

潔凈度等級

軟件

通訊

存儲貨柜

Pod、Cassette、FOUP

ISO 5

STC

SECS/GEM

空中緩存區

Pod、Cassette、FOUP

ISO 5

OHBC

SECS/GEM

電子貨架

Pod、Cassette、FOUP

ISO 5

ERS

SECS/GEM

設備緩沖存儲

Pod、Cassette、FOUP

ISO 5

NTBC

SECS/GEM

立體庫 Pod、Cassette、FOUP ISO5 WMS SECS/GEM

enlightened 半導體晶圓盒(包括Pod、Cassette、FOUP)存儲;

enlightened 半導體晶圓盒(包括Pod、Cassette、FOUP)跨樓層存儲及連接;

enlightened 半導體光罩盒(包括Pod、Cassette、FOUP)存儲;

enlightened 傳送系統(OHT/OHS/AGV)間交互完成半導體晶圓盒的轉移。

存儲貨柜

空中緩存區

電子貨架

設備緩沖存儲

立體庫

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