關 于

彌費開發的凈化系統系列產品主要用于先進技術節點(<=40nm)中關鍵工藝步驟的晶圓或光罩的品質保護,從而達到提高晶圓廠整體產品良率的目的。

本產品與工廠自動化系統及相關設備柔性連接,通過標準接口及閉環控制系統將超純壓縮空氣(或氮氣)送入所需凈化載具,精準控制濕度從而有效改善產品品質(降低載體內水氣、避免晶圓表面氧化或光罩表面霧化),并實現全自動控制及數據采集傳送。

凈化系統系列產品自2019年推出,已在全球多家排名前十的半導體晶圓廠安裝并投入使用,且順利通過量產驗證。

應 用

規 格

產品

凈化載體

氣體

外設控制器

通訊

設備上下料端口凈化

FOUP

XCDA or N2

標配

SECS/GEM

設備前端傳送區凈化

FOUP

XCDA or N2

選配

SECS/GEM

工藝生產存儲單元凈化

FOUP

XCDA or N2

標配

SECS/GEM

光罩盒存儲凈化

Reticle Case

XCDA or N2

標配

SECS/GEM

enlightened 設備上下料端口凈化;

enlightened 設備前端傳送區凈化;

enlightened 工藝生產存儲單元凈化;

enlightened 光罩盒存儲凈化。

設備上下料端口凈化

工藝生產存儲單元凈化

設備前端傳送區凈化

光罩盒存儲凈化

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