關 于

彌費自動物料(Pod、Cassette、FOUP……)傳送系統由彌費自主研發的物料調度軟件系統控制。通過模塊化接口對應彌費傳送設備來完成物料從A站點到B站點的自動傳送過程。彌費自動物料傳送系統內所有傳送設備都遵循半導體設備標準通訊協議,包括SEMI E82、SEMI E84、SEMI E99等,使其易接入半導體工廠的上層系統來實現數據交互,達到工業4.0的標準。

彌費自動物料傳送系統已經成功交付到8吋、12吋的晶圓廠,12吋的半導體封測廠以及4吋的LED外延廠運行。

應 用

規 格

 

產品

 搬運物料

潔凈度要求

傳送速度

軟件調度系統

通訊

空中傳送機

半導體晶圓盒

ISO 3

0.3米/秒

選配

SECS/GEM

升降機

半導體晶圓盒

ISO 5

1.0米/秒

選配

SECS/GEM

移動機器人

半導體晶圓盒

ISO 5

1.0米/秒

標配

SECS/GEM

智能AGV

承載盤

ISO 5

1.2米/秒

標配

SECS/GEM

 

 

 

enlightened 半導體晶圓盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在各生產設備站點間的流轉;

enlightened 半導體晶圓盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在各生產設備站點與存儲設備間的流轉;

enlightened 半導體晶圓盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在各存儲設備間的流轉;

enlightened 半導體晶圓盒(包括Pod、Cassette、FOUP)在空中地面傳送的流轉;

enlightened 承載盤(Susceptor)在各工藝段及存儲區域的流轉。

空中傳送車

空中傳送機

升降機

移動機器人

智能AGV

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